AIRScan系列圖形晶圓缺陷檢測設備
Optical Critical Dimension Metrology instrument
光學線寬測量儀
產(chǎn)品簡介
AIRScan系列產(chǎn)品采用明暗場光學成像系統(tǒng)、高速圖像采集系統(tǒng)、智能化操作系統(tǒng)、自研高動態(tài)性能光源，為客戶提供高靈敏度、高產(chǎn)能及高檢出率的圖形晶圓缺陷檢測方案。
應用場景
主要應用在ADI、AEI等前道工藝過程檢及中后道出貨檢，支持劃片后Frame環(huán)等工藝段檢測。
晶圓尺寸：4"/6"/8"兼容， 8"/12"兼容
產(chǎn)品特點
· 高靈敏度：大NA及低相差光學成像系統(tǒng)、高動態(tài)響應，激光自動實時聚焦；
· 高適應性：靈活結(jié)構(gòu)設計適應多種晶圓尺寸、正反面、擴膜環(huán)等應用場景，多種光學模式適應不同工藝場景；
· 高產(chǎn)能：高速圖像采集及傳輸、分布式并行處理架構(gòu)；
· 高智能化：配備ADC模塊，快速分類缺陷，定位品質(zhì)問題；
· 多維數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)：智能SPC數(shù)據(jù)分析軟件，生產(chǎn)報表導出，多維數(shù)據(jù)顯示，良率分析；
· 符合SEMI300標準的EAP自動化通信；
· 可搭配100um級精度宏觀正檢、背檢、邊檢模組。
|
|
魅杰半導體設備（無錫）有限公司
聯(lián)系郵箱: pr.sc@mzsemi.com
聯(lián)系電話: 18033050069（工作日9:30-18:30）
聯(lián)系地址:
無錫市濱湖區(qū)滴翠路100號11號樓101室（1-2樓）
上海市浦東新區(qū)張江路75號魅杰半導體
歡迎掃碼關(guān)注魅杰半導體微信公眾號
提升“芯”良率，持續(xù)“芯”回報